各種類型(註)等級的無塵室(潔淨室)、製程,如何兼顧全室控濕或局部低濕的穩定濕度及過濾除污,符合空氣系統、製程確效作業要求?

無塵室若需要局部的穩定低濕度製程環境,由於改動整個空調箱的性能所費不貲,只能在現場安裝多台冷凝式除溼機,但在換氣量大的情況下不僅除溼效率不彰及影響落菌數,還會受到室外溫濕度影響,人員進出也會明顯影響效能,無法提供穩定而低濕的局部環境。

註:潔淨室(Cleanroom C/R)、超潔淨室(Super Cleanroom)、工業用潔淨室(Industerial Cleanroom I.C.R)、生技用潔淨室(Biological Cleanroom B.C.R)、危險性生技潔淨室(Biohazard Cleanroom B.H.C.R)

如何兼顧全室控濕或局部低濕的穩定濕度及過濾除污?創新整合解決方案,可同時兼顧各種除濕、控濕、環控需求。

創新吸附式整合優劣比較

傳統空調除濕、控濕方式無法提供穩定濕度。
1. 傳統採用中央空調的無塵室,在高換氣次數的條件下,傳統冷凝式除濕再經由電加熱器降低濕度,能耗高不適合高標準的控濕環境。
2. 需要局部低濕的製程,無法提供穩定濕度,品質不穩定下,若有製程污染物還會縮短中央空調與除濕機壽命與降低效率。
創新整合恆溫恆濕規劃,濕度更穩定能耗更低。還能整合除污環控規劃。
1. 創新過濾吸附式除溼系統可整合冰水式、分離式的各種冷卻控溫系統,提供快速、高效的溫濕度控制,可穩定控制在0~50%RH,且不受原中央空調、室外環境、人員進出等影響,確保符合空調系統確效之潔淨室之操作要求。
2. 整體的VOCs或其他空氣汙染物防治去除方案:專利AuraMat.中空纖維吸附材,可捕捉各種濃度的氣體污染物、廢氣回收,其去除與吸附處理效率遠高於傳統常用的活性碳或轉輪材料,且具備活性碳濾網難以企及的高重複使用次數。
3. 可整合洗滌塔(scrubber)的進氣或尾氣,進一步降低排放濃度,或回收再利用。

可整廠規劃與海外施工。
傳統式
空調、清淨、除濕設備
特點 吸附式
無塵室環控整合方案
製冷需要時間,除濕速度較慢 除溼速度 除濕速度較
過冷後再加熱回溫,能耗較高 節能效果 吸附式除濕獨立控濕
可結合熱回收、環控整合規劃,節能潛力最大
容易受外界溫濕度影響 外界影響 不易受外界溫濕度影響
環境溫度越低,除濕力越容易衰減
且高濕環境除濕穩定度差
穩定度 不受環境溫度影響,且穩定度
僅可控濕50~60%RH 控濕範圍 0~60%RH、低露點,皆可規劃
活性炭、HEPA 清淨環控 可過濾吸附去除各種有機溶劑的揮發性氣體
(IPA、NMP、NDMA、PGME、
臭氧、醇、酮、醛、芳香烴、酯類等各種物質) 特殊氣體亦可以另外洽詢規劃
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